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高純氣體輸送及儲(chǔ)運(yùn)也是影響電子氣體質(zhì)量的關(guān)鍵因素。超高純氣體的生產(chǎn)和應(yīng)用要求使用高質(zhì)量的氣體包裝儲(chǔ)運(yùn)容器、相應(yīng)的氣體輸送管線、閥門和接口，要求相應(yīng)器件耐高壓、耐高真空，對(duì)于腐蝕性氣體要求耐腐蝕，以避免二次污染的發(fā)生。隨著氣體純度的提高、產(chǎn)品種類的增多，對(duì)包裝容器的要求也越來越高，對(duì)于氣瓶?jī)?nèi)壁處理技術(shù)以及氣密性好無污染的閥門、減壓器、過濾器等的研制提出了較高要求。

電子氣體中的金屬雜質(zhì)主要來源于：1) 生產(chǎn)環(huán)境和制造過程中引入的微量金屬雜質(zhì)；2) 氣體運(yùn)輸和儲(chǔ)存過程中機(jī)械帶入的金屬雜質(zhì)；3) 使用過程中外界環(huán)境引入的金屬污染。這些金屬雜質(zhì)在氣體中主要以0.1~20 μm懸浮顆粒或小于0.1 μm的氣溶膠形式存在。只有將氣體中的顆粒通過分離進(jìn)行排除，才能減少或消除金屬雜質(zhì)。然而，特種氣體出售，目前一般的過濾器的孔徑1小為0.2 μm，特種氣體供應(yīng)商，無法完全消除金屬雜質(zhì)。因此，建立氣體中痕量金屬雜質(zhì)的檢測(cè)方法，特種氣體批發(fā)價(jià)格，對(duì)高純氣體的生產(chǎn)、儲(chǔ)存和運(yùn)輸?shù)染哂兄笇?dǎo)意義。

據(jù)相關(guān)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，目前我國(guó)特種氣體年銷售額中，安徽特種氣體，電子行業(yè)約占40%，石油化工約占40%；醫(yī)1療環(huán)保約占10%，其它約占10%。以電子氣體為例，電子氣體是指用于半導(dǎo)體及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的氣體。隨著我國(guó)高新技術(shù)、新型能源、新型電光源、光電半導(dǎo)體器件、光纖通訊器件的迅猛發(fā)展，將帶動(dòng)電子特種氣體的發(fā)展。

前瞻網(wǎng)數(shù)據(jù)顯示，中國(guó)特種功能電子氣體市場(chǎng)規(guī)模逐年增長(zhǎng)，僅2016年，中國(guó)特種電子氣體市場(chǎng)規(guī)模約為98億元左右。值得關(guān)注的是，從產(chǎn)業(yè)鏈以及技術(shù)層面歐美國(guó)家占據(jù)絕1對(duì)的領(lǐng)1先地位。可喜的是，隨著新技術(shù)、新成果不斷涌現(xiàn)，將加速我國(guó)電子特種氣體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，我國(guó)的特種氣體產(chǎn)業(yè)需求有望持續(xù)增長(zhǎng)。

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